離子激光器
離子激光器
激光器——能發射激光的裝置。1954年製成了第一台微波量子放大器,獲得了高度相干的微波束。
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激光,又稱鐳射,英文叫“LASER”,是“Light Amplification by Stimulated Emission of Radiation”的縮寫,意思是“受激發射的輻射光放大”,激光的英文全名已完全表達了製造激光的主要過程。1964年按照我國著名科學家錢學森建議將“光受激發射”改稱“激光”。
離子激光器
離子激光器的發光依靠電離的離子。
右圖是一台組合式CO2工業激光器。
離子激光器
下圖:一颱風冷氬離子激光器,功率25-100W
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1、2兩種激發形式在氬離子激光器中都存在,由於一步過程要把Ar原子激發到高達35.5eV的3p44p,需要的電子能量較大,只有在低氣壓脈衝器件中才能達到,而二步過程只需要16-20eV的能量,所以在連續工作的器件中,二步過程佔主導。
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將氬離子激光器置於軸向磁場中,不僅可以減小離子對管壁的轟擊,延長激光器的壽命,而且能提高激光器的輸出功率和效率。因為在放電管內,向管壁運動的電子和正離子在軸向磁場作用下作螺旋狀運動,並向管軸集中。利用了磁力線可以約束自由帶電粒子的特性。
離子激光器
首先必須準備一塊圓形平板狀的厚玻璃基板,使用硝酸或具有溶解力的物質對其清洗,然後在其表面均勻地塗布稱為“photoresist”(光刻膠,PR,這是一種光敏感物質)的物質,厚度為130皮米。塗后經過約20分鐘烘乾。
顯影:刻錄過程是化學反應,故刻錄后的玻璃母盤要清洗一次把多餘反應物去除。
PR的質地不夠堅硬,必須將玻璃母盤轉製成金屬母盤。
鍍銀:使PR表面能導電。
電鑄:電鍍上一層鎳。
拋光:母盤底層,即非信號面,由於電鍍的緣故不平整,故要進行拋光。
衝壓:母盤中央圓孔和外圍多餘部分。
離子激光器
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