王曦

1966年8月，王曦出生於上海，原籍江蘇南通。1983年，從江蘇省南通中學畢業，並考入清華大學工程物理系。

1987年，提前畢業並保送到中國科學院上海冶金研究所（現中國科學院上海微系統與信息技術研究所，簡稱上海微系統所），主攻離子注入方向，先後獲得碩士（1990年）、博士學位（1993年）。

1993年，博士畢業后留所工作，先後擔任助理研究員、副研究員、室副主任、研究員（1996年破格晉陞）、博士生導師（1998年-）、室主任、所長助理。

1993年7月，赴澳大利亞聯邦科學與工業研究院訪問學者（至1994年5月）。

1996年5月，前往歐洲最大的離子束材料研究基地德國羅森多夫研究中心做洪堡訪問學者。

1998年6月，等不及還有一年才結束的洪堡訪問學者研究，回國競聘成為離子束國家重點實驗室主任，同時擔任“高端硅基SOI材料”製備研究項目的負責人。

1999年，獲得國家傑出青年科學基金資助。

2001年7月，上海微系統所發起成立了上海新傲科技有限公司，王曦和SOI課題組的幾位骨幹一同進入公司。

2004年4月，出任上海微系統所黨委副書記兼副所長。

2007年1月，出任上海微系統所黨委書記兼副所長，上海新傲科技股份有限公司董事長，國家中長期科學與技術發展規劃“極大規模集成電路製造技術及成套工藝（02專項）”科技重大專項總體專家組副組長。

2009年3月，擔任上海微系統所黨委書記、常務副所長，法定代表人。12月，當選中國科學院院士（技術科學部）。

2010年8月26日，當選為第十一屆全國青年聯合會副主席，擔任科學技術界別工作委員會主任委員。

2012年，被聘為上海市決策諮詢委員會成員。

2013年5月，在上海市科委和嘉定區支持下，在嘉定註冊成立上海微技術工業研究院，參考比利時IMEC和台灣工研院ITRI等模式，建立集研發、工程、資訊、孵化及投資於一體的產業加速體系。

2016年6月2日，中國科協第九次全國代表大會舉行第九屆全委會第一次會議，王曦當選中國科學技術協會第九屆全國委員會副主席。

2017年5月，出任中國科學院上海高等研究院院長。

2018年6月，出任亞洲科學理事會主席（至2020年6月）。

2019年4月，任科學技術部副部長、黨組成員兼中國科學技術協會副主席。

2020年8月4日，任廣東省副省長。

2020年8月11日，國務院決定免去王曦的科學技術部副部長職務。

• 科研綜述

王曦長期致力於載能離子束與固體相互作用物理現象研究，並將研究成果應用於電子材料SOI（Silicon-on-insulator）的開發。在對離子注入SOI合成過程中的物理和化學過程研究基礎上，自主開發了一系列將SOI材料技術產業化的關鍵技術，建立了中國SOI材料研發和生產基地。2008年製備出中國第一片8英寸鍵合SOI晶片，實現了SOI晶片製備技術的重要突破。在載能離子束與固體相互作用以及離子束輔助薄膜沉積技術研究方面，揭示了載能離子作用下薄膜表面微結構、相組分、電子學、光學、生物學特性，實現了載能離子束薄膜生長的可控制性。

• 科研項目＆成果獎勵

截至2017年，王曦主持完成了包括國家“863”計劃“超大規模集成電路配套材料”重大專項項目在內的多個國家級項目，並獲得上海市科學技術進步一等獎，國家科技進步一等獎，中國科學院傑出科技成就獎等。

截至2012年，王曦在中國科學院上海微系統與信息技術研究所（原中國科學院上海冶金研究所）一共培養博士生10多名，碩士生4名。根據中國科學技術信息研究所、國家工程技術數字研究館信息、全國圖書館參考諮詢聯盟，王曦培養學生情況如下：

負責教育、科技、工業、外國專家方面工作。

分管省教育廳、科技廳、工業和信息化廳、科學院、社科院。聯繫省工商聯、科協、社科聯，省通信管理局、專用通信局、煙草專賣局，中科院駐粵相關機構。

王曦是中國高端集成電路襯底材料的主要開拓者和領軍人物，他長期致力於載能離子束與固體相互作用物理現象研究，並將其應用於高端集成電路襯底材料SOI的開發，解決了中國急需的航天電子器件的“有無”問題；基於這一核心技術創建了中國唯一的SOI材料研發和生產基地，成功實現了中國SOI材料的產業化，推動了中國微電子材料的跨越式發展。（中國科學院上海分院評）