林本堅
電機工程博士
林本堅,男,1942年出生在越南,中國台灣人,祖籍廣東潮汕,美國國家工程院院士。台灣“中央研究院”院士,台灣清華大學、台灣交通大學、台灣大學特聘講座教授,清大—台積電聯合研發中心主任。
1963年獲得台灣大學電機工程學系學士;1970年獲得美國俄亥俄州立大學電機工程學系博士;2000年至2015年在台灣積體電路製造股份有限公司任資深處長、傑出科技院士和副總經理;2008年當選美國國家工程學院院士;2014年當選台灣“中央研究院”院士;2015年底從台積電退休。 2018年9月8日在第三屆“未來科學大獎”中榮獲三項大獎之一“數學與計算機科學獎”。
林本堅專註於半導體製程中的微影技術的研發,帶領團隊創造出許多領先全球的技術,包括1.25微米、1微米、0.75微米、0.5微米、0.35微米的微影技術。
,林堅越南,越南貢。
,台灣竹級讀。
,獲台灣程系。
1970年,獲得美國俄亥俄州立大學電機工程學系博士。
林本堅
1970年—1992年,在美國國際商用機器公司任研究員、研發經理、部經理、幕僚。
1992年—2000年,在美國領創公司任總經理。
2000年,回到台灣,加入了台灣積體電路製造股份有限公司(以下簡稱:台積電)。
2000年—2015年,在台積電任資深處長、傑出科技院士和副總經理。
2008年,當選美國國家工程學院院士。
2014年,成為第一位出身業界的台灣“中央研究院”院士。
2015年底,從台積電退休。
2016年起,任台灣清華大學特聘研究講座教授。
父母早先時候居住在香港,在抗戰時期逃到相對安全的越南。父親曾是一所英文學校的校長。他的妻子是黃修慧。
為人處世:林本堅是虔誠的基督教徒,待人和善,說話的時候語調總是慢慢地輕輕的,以前的同事和晚輩都稱他“Burn爺爺”。但是,當面對自己的工作和研究時,這個和善的老先生就會無比堅定。
人生信條:誠信、正直、操守,還有反覆強調的合作精神。
從台積電退休后,和妻子一同為俄亥俄州立大學母校創辦助學基金,將未來大學大獎的100萬美元獎金全數捐入基金會。
林本堅
林本堅一系列突破性的創新所開拓的浸潤式微影(也稱光刻)方法,革新了集成電路的製程,使先進半導體晶元的特徵尺寸能持續縮減為細微納米量級,在過去十五年以及可預見的未來,為建造最強大的計算和通信系統做出了關鍵貢獻。2002年,林本堅發明了“浸潤式微影技術”,徹底改變了集成電路的生產。這項技術是在透鏡和矽片表面的間隙中,用水代替空氣以提高解析度。當全世界的半導體研發團隊都在專註於157納米波長技術時,林本堅創造性地以193納米波長的光,通過水作為介質,將其縮短至134納米。他通過各種國際研討會說服同行使用該技術,由此繼續將摩爾定律延續下去。
出版著作
《把心放上去:林本堅的‘用心則樂’人生學》
教育理念
“技術上的困難都是紙上談兵,要有晚上睡不著覺的信念去解決問題。”他勉勵年輕人,做科研一定是享受科學樂趣的,“不要死犟,要會轉彎,會求助,‘三個臭皮匠頂個諸葛亮’。”
任職時間 | 職務 |
---|---|
2002年—2011年 | Journal of Micro/nanolithography, MEMS, and MOEMS首任總編輯 |
2003年 | 國際電機電子工程學會(IEEE)會士 |
2003年 | 國際光學工程學會(SPIE) 會士 |
IEEE終身研究員 |
獲獎時間 | 獎項名稱 |
---|---|
1975、1976、1978、1982、1984、1986、1989、1992、1994、1997年 | 美國IBM傑出發明獎 |
1988年 | 美國IBM傑出貢獻獎 |
2004年 | 第一屆美國 SPIE Frits Zernike 終生成就獎(SPIE頒給微影家最高的榮譽) |
2004年 | 潘文淵文教基金會研究傑出獎 |
2004年、2006年 | 台積電創新與客戶夥伴獎 |
2005年 | 美國VLSI研究機構積體電路工業界最有貢獻的明星 |
2008年 | 美國國家工程學院院士 |
2009年 | 美國俄亥俄州立大學最高成就金牌 |
2009年 | 國際電機電子工程學會IEEE Cledo Brunetti Award for contributions to immersion lithography for the manufacture of integrated circuit devices(IEEE頒給微影家的高知名度獎) |
2013年 | 國際電機電子工程學會西澤潤一金牌 |
2014年 | 台灣“中央研究院”院士 |
2018年 | 台灣大學傑出校友-學術類 |
2018年 | 美國俄亥俄州立大學傑出校友 |
2018年9月8日 | 未來科學大獎—數學與計算機科學獎 |
網易科技:林本堅是極具成就的科學家和發明家,半導體工業界的英雄,“浸潤式微影之父”。他彬彬有禮、丰采奕奕,顛覆了人們對科研工作者的一貫印象。內斂、安靜、風趣,這幾個特點,是洋溢在林本堅身上的易被感知的特點。在科學家的崗位上盡責盡心,當先生,又表現得體、周道。作為科學家,在外,45年如一日,開山辟路,榮譽等身,業界隆崇。在內,父慈子孝,伉儷榮諧,活力盎然。
台積電董事長張忠謀:假如沒有林本堅及其團隊,“台積電的微影(半導體關鍵製程之一)不會有今天這規模。”
未來科學大獎獲獎:獎勵他開拓浸潤式微影系統方法,持續擴展納米級集成電路製造,將摩爾定律延伸多代。
台灣清華大學電機系主任徐碩鴻教授:“林本堅院士是改寫半導體歷史的巨擘,也是光學微影技術的先驅者,清華能夠延攬到這位謙虛又樂意傳授的國際人才任教,非常榮幸。”
林本堅