林本堅

電機工程博士

林本堅,男,1942年出生在越南,中國台灣人,祖籍廣東潮汕,美國國家工程院院士。台灣“中央研究院”院士,台灣清華大學台灣交通大學、台灣大學特聘講座教授,清大—台積電聯合研發中心主任。

1963年獲得台灣大學電機工程學系學士;1970年獲得美國俄亥俄州立大學電機工程學系博士;2000年至2015年在台灣積體電路製造股份有限公司任資深處長、傑出科技院士和副總經理;2008年當選美國國家工程學院院士;2014年當選台灣“中央研究院”院士;2015年底從台積電退休。 2018年9月8日在第三屆“未來科學大獎”中榮獲三項大獎之一“數學與計算機科學獎”。

林本堅專註於半導體製程中的微影技術的研發,帶領團隊創造出許多領先全球的技術,包括1.25微米、1微米、0.75微米、0.5微米、0.35微米的微影技術。

人物經歷


早年經歷

,林堅越南,越南貢。
,台灣竹級讀。
,獲台灣程系。
1970年,獲得美國俄亥俄州立大學電機工程學系博士。
林本堅
林本堅

工作經歷

1970年—1992年,在美國國際商用機器公司任研究員、研發經理、部經理、幕僚。
1992年—2000年,在美國領創公司任總經理。
2000年,回到台灣,加入了台灣積體電路製造股份有限公司(以下簡稱:台積電)。
2000年—2015年,在台積電任資深處長、傑出科技院士和副總經理。
2008年,當選美國國家工程學院院士。
2014年,成為第一位出身業界的台灣“中央研究院”院士。
2015年底,從台積電退休。
2016年起,任台灣清華大學特聘研究講座教授。

家庭生活

父母早先時候居住在香港,在抗戰時期逃到相對安全的越南。父親曾是一所英文學校的校長。他的妻子是黃修慧。
為人處世:林本堅是虔誠的基督教徒,待人和善,說話的時候語調總是慢慢地輕輕的,以前的同事和晚輩都稱他“Burn爺爺”。但是,當面對自己的工作和研究時,這個和善的老先生就會無比堅定。
人生信條:誠信、正直、操守,還有反覆強調的合作精神。

社會活動


公益活動

從台積電退休后,和妻子一同為俄亥俄州立大學母校創辦助學基金,將未來大學大獎的100萬美元獎金全數捐入基金會。
林本堅
林本堅

主要成就


科研成就

林本堅一系列突破性的創新所開拓的浸潤式微影(也稱光刻)方法,革新了集成電路的製程,使先進半導體晶元的特徵尺寸能持續縮減為細微納米量級,在過去十五年以及可預見的未來,為建造最強大的計算和通信系統做出了關鍵貢獻。2002年,林本堅發明了“浸潤式微影技術”,徹底改變了集成電路的生產。這項技術是在透鏡和矽片表面的間隙中,用水代替空氣以提高解析度。當全世界的半導體研發團隊都在專註於157納米波長技術時,林本堅創造性地以193納米波長的光,通過水作為介質,將其縮短至134納米。他通過各種國際研討會說服同行使用該技術,由此繼續將摩爾定律延續下去。
出版著作
《把心放上去:林本堅的‘用心則樂’人生學》

教學成就

教育理念
“技術上的困難都是紙上談兵,要有晚上睡不著覺的信念去解決問題。”他勉勵年輕人,做科研一定是享受科學樂趣的,“不要死犟,要會轉彎,會求助,‘三個臭皮匠頂個諸葛亮’。”

社會任職


任職時間職務
2002年—2011年Journal of Micro/nanolithography, MEMS, and MOEMS首任總編輯
2003年國際電機電子工程學會(IEEE)會士
2003年國際光學工程學會(SPIE) 會士
IEEE終身研究員

獲得榮譽


獲獎時間獎項名稱
1975、1976、1978、1982、1984、1986、1989、1992、1994、1997年美國IBM傑出發明獎
1988年美國IBM傑出貢獻獎
2004年第一屆美國 SPIE Frits Zernike 終生成就獎(SPIE頒給微影家最高的榮譽)
2004年潘文淵文教基金會研究傑出獎
2004年、2006年台積電創新與客戶夥伴獎
2005年美國VLSI研究機構積體電路工業界最有貢獻的明星
2008年美國國家工程學院院士
2009年美國俄亥俄州立大學最高成就金牌
2009年國際電機電子工程學會IEEE Cledo Brunetti Award for contributions to immersion lithography for the manufacture of integrated circuit devices(IEEE頒給微影家的高知名度獎)
2013年國際電機電子工程學會西澤潤一金牌
2014年台灣“中央研究院”院士 
2018年台灣大學傑出校友-學術類
2018年美國俄亥俄州立大學傑出校友
2018年9月8日未來科學大獎—數學與計算機科學獎

人物評價


網易科技:林本堅是極具成就的科學家和發明家,半導體工業界的英雄,“浸潤式微影之父”。他彬彬有禮、丰采奕奕,顛覆了人們對科研工作者的一貫印象。內斂、安靜、風趣,這幾個特點,是洋溢在林本堅身上的易被感知的特點。在科學家的崗位上盡責盡心,當先生,又表現得體、周道。作為科學家,在外,45年如一日,開山辟路,榮譽等身,業界隆崇。在內,父慈子孝,伉儷榮諧,活力盎然。
台積電董事長張忠謀:假如沒有林本堅及其團隊,“台積電的微影(半導體關鍵製程之一)不會有今天這規模。”
未來科學大獎獲獎:獎勵他開拓浸潤式微影系統方法,持續擴展納米級集成電路製造,將摩爾定律延伸多代。
台灣清華大學電機系主任徐碩鴻教授:“林本堅院士是改寫半導體歷史的巨擘,也是光學微影技術的先驅者,清華能夠延攬到這位謙虛又樂意傳授的國際人才任教,非常榮幸。”
林本堅
林本堅