林本堅
電機工程博士
林本堅，男，1942年出生在越南，中國台灣人，祖籍廣東潮汕，美國國家工程院院士。台灣“中央研究院”院士，台灣清華大學、台灣交通大學、台灣大學特聘講座教授，清大—台積電聯合研發中心主任。
1963年獲得台灣大學電機工程學系學士；1970年獲得美國俄亥俄州立大學電機工程學系博士；2000年至2015年在台灣積體電路製造股份有限公司任資深處長、傑出科技院士和副總經理；2008年當選美國國家工程學院院士；2014年當選台灣“中央研究院”院士；2015年底從台積電退休。 2018年9月8日在第三屆“未來科學大獎”中榮獲三項大獎之一“數學與計算機科學獎”。
林本堅專註於半導體製程中的微影技術的研發，帶領團隊創造出許多領先全球的技術，包括1.25微米、1微米、0.75微米、0.5微米、0.35微米的微影技術。
，林堅越南，越南貢。
，台灣竹級讀。
，獲台灣程系。
1970年，獲得美國俄亥俄州立大學電機工程學系博士。
林本堅
1970年—1992年，在美國國際商用機器公司任研究員、研發經理、部經理、幕僚。
1992年—2000年，在美國領創公司任總經理。
2000年，回到台灣，加入了台灣積體電路製造股份有限公司（以下簡稱：台積電）。
2000年—2015年，在台積電任資深處長、傑出科技院士和副總經理。
2008年，當選美國國家工程學院院士。
2014年，成為第一位出身業界的台灣“中央研究院”院士。
2015年底，從台積電退休。
2016年起，任台灣清華大學特聘研究講座教授。
父母早先時候居住在香港，在抗戰時期逃到相對安全的越南。父親曾是一所英文學校的校長。他的妻子是黃修慧。
為人處世：林本堅是虔誠的基督教徒，待人和善，說話的時候語調總是慢慢地輕輕的，以前的同事和晚輩都稱他“Burn爺爺”。但是，當面對自己的工作和研究時，這個和善的老先生就會無比堅定。
人生信條：誠信、正直、操守，還有反覆強調的合作精神。
從台積電退休后，和妻子一同為俄亥俄州立大學母校創辦助學基金，將未來大學大獎的100萬美元獎金全數捐入基金會。
林本堅
林本堅一系列突破性的創新所開拓的浸潤式微影（也稱光刻）方法，革新了集成電路的製程，使先進半導體晶元的特徵尺寸能持續縮減為細微納米量級，在過去十五年以及可預見的未來，為建造最強大的計算和通信系統做出了關鍵貢獻。2002年，林本堅發明了“浸潤式微影技術”，徹底改變了集成電路的生產。這項技術是在透鏡和矽片表面的間隙中，用水代替空氣以提高解析度。當全世界的半導體研發團隊都在專註於157納米波長技術時，林本堅創造性地以193納米波長的光，通過水作為介質，將其縮短至134納米。他通過各種國際研討會說服同行使用該技術，由此繼續將摩爾定律延續下去。
出版著作
《把心放上去：林本堅的‘用心則樂’人生學》
教育理念
“技術上的困難都是紙上談兵，要有晚上睡不著覺的信念去解決問題。”他勉勵年輕人，做科研一定是享受科學樂趣的，“不要死犟，要會轉彎，會求助，‘三個臭皮匠頂個諸葛亮’。”
| 任職時間 | 職務 |
|---|---|
| 2002年—2011年 | Journal of Micro/nanolithography, MEMS, and MOEMS首任總編輯 |
| 2003年 | 國際電機電子工程學會（IEEE）會士 |
| 2003年 | 國際光學工程學會（SPIE） 會士 |
| IEEE終身研究員 |
| 獲獎時間 | 獎項名稱 |
|---|---|
| 1975、1976、1978、1982、1984、1986、1989、1992、1994、1997年 | 美國IBM傑出發明獎 |
| 1988年 | 美國IBM傑出貢獻獎 |
| 2004年 | 第一屆美國 SPIE Frits Zernike 終生成就獎（SPIE頒給微影家最高的榮譽） |
| 2004年 | 潘文淵文教基金會研究傑出獎 |
| 2004年、2006年 | 台積電創新與客戶夥伴獎 |
| 2005年 | 美國VLSI研究機構積體電路工業界最有貢獻的明星 |
| 2008年 | 美國國家工程學院院士 |
| 2009年 | 美國俄亥俄州立大學最高成就金牌 |
| 2009年 | 國際電機電子工程學會IEEE Cledo Brunetti Award for contributions to immersion lithography for the manufacture of integrated circuit devices（IEEE頒給微影家的高知名度獎） |
| 2013年 | 國際電機電子工程學會西澤潤一金牌 |
| 2014年 | 台灣“中央研究院”院士 |
| 2018年 | 台灣大學傑出校友-學術類 |
| 2018年 | 美國俄亥俄州立大學傑出校友 |
| 2018年9月8日 | 未來科學大獎—數學與計算機科學獎 |
網易科技：林本堅是極具成就的科學家和發明家，半導體工業界的英雄，“浸潤式微影之父”。他彬彬有禮、丰采奕奕，顛覆了人們對科研工作者的一貫印象。內斂、安靜、風趣，這幾個特點，是洋溢在林本堅身上的易被感知的特點。在科學家的崗位上盡責盡心，當先生，又表現得體、周道。作為科學家，在外，45年如一日，開山辟路，榮譽等身，業界隆崇。在內，父慈子孝，伉儷榮諧，活力盎然。
台積電董事長張忠謀：假如沒有林本堅及其團隊，“台積電的微影（半導體關鍵製程之一）不會有今天這規模。”
未來科學大獎獲獎：獎勵他開拓浸潤式微影系統方法，持續擴展納米級集成電路製造，將摩爾定律延伸多代。
台灣清華大學電機系主任徐碩鴻教授：“林本堅院士是改寫半導體歷史的巨擘，也是光學微影技術的先驅者，清華能夠延攬到這位謙虛又樂意傳授的國際人才任教，非常榮幸。”
林本堅
基本信息
- 中文名
- 林本堅
- 外文名
- Burn J. LIN
- 性別
- 男
- 出生地
- 出生日期
- 1942
- 祖籍
- 廣東潮汕
- 職業
- 教育科研工作者
- 畢業院校
- 美國俄亥俄州立大學
- 最高學歷
- 博士研究生
- 主要成就
- 開拓浸潤式微影系統方法 2008年當選美國國家工程學院院士 2014年當選台灣“中央研究院”院士