測量顯微鏡

光學測量顯微鏡

採用透、反射的方式對工件長度和角度作精密測量。主要運用於錄像磁頭、大規模集成電路線寬以及其它精密零件的測試。廣泛地適用於計量室、生產作業線及科學研究等部門。

主要優點：小巧便攜，只需一台計算機就可以直觀的觀測微觀放大圖像，進行精確數據測量、拍照備份圖片及數據資料；還可以根據客戶需要定製特種光源（熒光、紅外）用於特殊場所觀測。數碼測量顯微鏡幾年來得到廣泛的普及使用，已成為一種可靠實用的精密測量儀器。

Z軸非接觸式

以裂像聚焦指示器為測量原理, 採用高精度光學聚焦點檢測方式進行非接觸高低差測量。不僅可以對準目標影像, 還能觀察測量點的表面狀態，對高度，深度，高低差等進行測量。本儀器的各種鏡筒還具有明暗場，微分干涉，金相，偏光等多種觀察功能。所以對極細微的間隙高低差，夾雜物、微米以下的突起、細微划痕、以及金相組織進行觀察

與STM類似，在AFM中，使用對微弱力非常敏感的彈性懸臂上的針尖對樣品表面作光柵式掃描。當針尖和樣品表面的距離非常接近時，針尖尖端的原子與樣品表面的原子之間存在極微弱的作用力（），此時，微懸臂就會發生微小的彈性形變。針尖與樣品之間的力F與微懸臂的形變之間遵循虎克定律：，其中，k為微懸臂的力常數。所以，只要測出微懸臂形變數的大小，就可以獲得針尖與樣品之間作用力的大小。

針尖與樣品之間的作用力與距離有強烈的依賴關係，所以在掃描過程中利用反饋迴路保持針尖與樣品之間的作用力恆定，即保持為懸臂的形變數不變，針尖就會隨樣品表面的起伏上下移動，記錄針尖上下運動的軌跡即可得到樣品表面形貌的信息。這種工作模式被稱為“恆力”模式（Constant Force Mode），是使用最廣泛的掃描方式。

AFM的圖像也可以使用“恆高”模式（Constant Height Mode）來獲得，也就是在X，Y掃描過程中，不使用反饋迴路，保持針尖與樣品之間的距離恆定，通過測量微懸臂Z方向的形變數來成像。這種方式不使用反饋迴路，可以採用更高的掃描速度，通常在觀察原子、分子像時用得比較多，而對於表面起伏比較大的樣品不適用。

技術參數：

1、鏡筒：粗動：調節範圍 90毫米，微動：調節範圍2毫米，高（Z）測量：範圍1毫米，最小讀數0.001毫米（比較測量），鏡筒：雙目鏡筒 俯角45度；

2、工作台：左右（X軸）：移動範圍25毫米，前後（Y軸） ：移動範圍25毫米，解析度：1微米，旋轉：360度；

3、照明系統：光源：透射照明，8V12W 藍、綠色濾光片，反射照明，8V12W 磨沙燈泡、綠色濾光片，斜 照 明，8V12W綠色濾光片，電源：AC220±22V 50/60Hz；

4、光學系統：目鏡：BWF 10X；物鏡：4X、工作距離17.5、焦距28.8，10X、工作距離11.6、焦距15.4，40X、工作距離0.66、焦距4.4；

5、X---Y軸測量範圍：；

6、測微器分度值：0.01mm；

7、圓工作台角度測量範圍：；

8、儀器測量準確度：儀器示值誤差；

9、放大倍數

選購件：下照明/斜照明/成橡系統/顯微圖像處理系統等等

儀器作用：

1、直角坐標中測定長度

2、旋轉度盤測定角度

3、用作觀察顯微鏡

4、利用微微動載物台之移動，配全目鏡之十字座標線，作長度量測。

5、利用旋轉載物台與目鏡下端之游標微分角度盤，配全合目鏡之址字座標線，作角度量測，令待測角一端對準十字線與之重合，然再讓另一端也重合。

6、利用標準檢測螺紋的節距、節徑、外徑、牙角及牙形等尺寸或外形。

7、檢驗金相表面的晶粒狀況。

8、檢驗工件加工表面的情況。

9、檢測微小工件的尺寸或輪廓是否與標準片相符。

107JPC測量顯微鏡，採用透、反射的方式對工件長度和角度作精密測量。特別適用於錄象磁頭、大規模集成電路線寬以及其它精密零件的測試。廣泛地適用於計量室、生產作業線及科學研究等部門。

107JPC為光柵數顯的小型精密測量儀器。工作台除作X、Y坐標的移動外，還可以作360度的旋轉，亦可以進行高度方向做Z坐標的測量；採用雙筒目鏡觀察。照明系統除作透、反射照明外還可以作斜光線照明。儀器進一步可連接CCD電視攝像頭，作工件的輪廓放大；亦可連接計算機進行數據處理等測量。是一種理想的多用途的小型精密測量儀器。

具體功能：

● 自動尋邊測量功能

可根據取點範圍，自動識別線、圓、弧，具有極強的去毛邊的功能，並極大地提高線距、線夾角、圓半徑、弧半徑測量精度，避免人工誤差。

● 幾何測量功能

線、圓、矩形、多邊形、角度等測量工具，對圖像上兩點距離、線段長度、線距、圓半徑直徑、面積、角度、矩形、折線、多邊形、點線、平行線距的等幾何參數進行測量。

● 視頻處理功能

視頻的實時播放，暫停，停止功能；

自動白平衡，自動曝光功能；

視頻參數設置功能（RGB設置，gamma調節，曝光設置，偏移量設置等等）；

視頻縮放顯示及視頻大小控制功能；

視頻上下、左右反轉功能等；

視頻採集功能，包括靜態捕獲、原始圖像採集

● 圖像處理功能

圖像模糊及銳化；

亮度/對比度調節；

RGB增益調節；

多幅圖片組合功能，包括圖片間邏輯與，邏輯或，疊加等操作；鏡像，旋轉功能；

提取邊緣功能；

浮雕效果；

圖像對比功能（即把拍下來的兩張或多張圖像在同一窗口顯示進行比較）；

圖像拼接功能；

單獨選擇圖像的某一個部份進行操作。

● 圖像數據管理與輸出

圖像庫瀏覽、圖像標註、文字操作、列印等功能實現；

測量圖片可存為bmp、jpg格式。

主要使用與電子工業、五金行業、以及一些精密工程，在塑膠行業和醫療業，生物物醫學、公安系統等等有廣泛的應用，特別是在電子工業比如觀察電路板的構造，觀察零件直接的精確距離，是不可缺少的精密儀器。

測量顯微鏡早在公元前一世紀，人們就已發現通過球形透明物體去觀察微小物體時，可以使其放大成像。後來逐漸對球形玻璃表面能使物體放大成像的規律有了認識。

1590年，荷蘭和義大利的眼鏡製造者已經造出類似顯微鏡的放大儀器。

1610年前後，義大利的伽利略和德國的開普勒在研究望遠鏡的同時，改變物鏡和目鏡之間的距離，得出合理的顯微鏡光路結構，當時的光學工匠遂紛紛從事顯微鏡的製造、推廣和改進。

17世紀中葉，英國的胡克和荷蘭的列文胡克，都對顯微鏡的發展作出了卓越的貢獻。

1665年前後，胡克在顯微鏡中加入粗動和微動調焦機構、照明系統和承載標本片的工作台。這些部件經過不斷改進，成為現代顯微鏡的基本組成部分。

1673～1677年期間，列文胡克製成單組元放大鏡式的高倍顯微鏡，其中九台保存至今。胡克和列文胡克利用自製的顯微鏡，在動、植物機體微觀結構的研究方面取得了傑出成就。

19世紀，高質量消色差浸液物鏡的出現，使顯微鏡觀察微細結構的能力大為提高。

1827年阿米奇第一個採用了浸液物鏡。

19世紀70年代，德國人阿貝奠定了顯微鏡成像的古典理論基礎。這些都促進了顯微鏡製造和顯微觀察技術的迅速發展，並為19世紀後半葉包括科赫、巴斯德等在內的生物學家和醫學家發現細菌和微生物提供了有力的工具。在顯微鏡本身結構發展的同時，

顯微觀察技術也在不斷創新：

1850年出現了偏光顯微術；

1893年出現了干涉顯微術；

1935年荷蘭物理學家澤爾尼克創造了相襯顯微術，他為此在1953年獲得了諾貝爾物理學獎。古典的光學顯微鏡只是光學元件和精密機械元件的組合，它以人眼作為接收器來觀察放大的像。後來在顯微鏡中加入了攝影裝置，以感光膠片作為可以記錄和存儲的接收器。現代又普遍採用光電元件、電視攝像管和電荷耦合器等作為顯微鏡的接收器，配以微型電子計算機后構成完整的圖像信息採集和處理系統。

如今。隨著自動化測量技術的發展，萬能測量顯微鏡在傳統的基礎上有了較大的改變，主要表現在兩個方面：一是成像瞄準系統已發展為使用CCD(Charge Coupled Device)成像瞄準技術。所成的像通過數據線傳送到計算機並顯示出來，這種成像方式比原來在目鏡視場中所形成的圖像更加直觀清晰，大大降低了對線瞄準誤差：二是讀數裝置由原來的玻璃線紋尺變為光柵尺計數。所得的數據直接傳到計算機，通過特定的軟體程序自動評定計算。不僅消除了人員的讀數誤差，同時還大幅度地提高了測量效率。