微細加工技術
2005年王振龍所著的圖書
本書針對製造技術的最新進展與需求,以微米尺度零件的加工為主線,力求使讀者能較為準確地理解和掌握微機械與微細加工技術的基礎知識和常用微細加工方法的基本原理及應用。主要內容包括:微型機械與微細加工的基礎知識;微細切削加工;;半導體材料的微細加工技術;微細電加工等微細特種加工技術;高能束流微細特種加工技術;納米加工技術;生長型微細加工技術;典型微機械產品及其採用的微細加工技術等。
本書適合於研究生和高年級本科生及從事微細加工研究的教師和工程技術人員參考使用。也是相關人士了解最新微細加工技術的一本參考書。
微細加工技術
第1章 微型機械與微細加工概論/1
1.1 微機械及其特點/1
1.2 微細加工技術的概念及其特點/4
1.3 微細加工技術的分類/6
1.4 微細加工技術的應用/9
1.5 發展微細加工技術的意義/15
參考文獻/17
第2章 微機械與微細加工理論基礎/18
2.1 微機械學/18
2.2 微電子學/33
2.3 微光學/37
2.4 分子裝配技術/39
2.5 微細加工機理/41
參考文獻/4l
第3章 微細切削加工技術/44
3.1 微切削加工機理與物理特性/44
3.2 微細車削加工技術/50
3.3 微細銑削加工技術/58
3.4 微細鑽削加工技術/65
3.5 微細衝壓加工/69
3.6 微細磨料噴射加工/7l
3.7 微細切削加工工作環境/74
參考文獻/75
第4章 微細電加工技術/77
4.1 微細電加工技術概述/77
4.2 微細電火花加工的特點與實現條件/79
4.3 微細電極的在線製作與檢測/83
4.4 微細電火花加工中的脈衝電源與控制系統/90
4.5 微細電火花加工裝備/95
4.6 微細電火花銑削加工技術/100
4.7 微細電火花線切割加工技術/108
4.8 微細電化學加工技術/111
參考文獻/117
第5章 高能束流微細特種加工技術/118
5.1 電子束微細加工技術/118
5.2 離子束微細加工技術/126
5.3 激光微細加工技術/136
參考文獻/150
第6章 半導體材料的微細加工技術/152
6.1 集成電路的工藝基礎一一平面硅工藝/152
6.2 薄膜成形技術/154
6.3 摻雜技術/159
6.4 光刻技術/161
6.5 硅的體微加工技術/163
6.6 硅的表面微加工技術/171
6.7 鍵合技術/173
6.8