氣動量儀

量儀（ ）

夠指示量值座式置式測量具。量具，量儀具靈敏、精、測量優，構較複雜。量儀環境件求較，般計量室。

量儀、瞄準、細、顯示錄及計算組。量儀類繁，按：①械式量儀。槓桿-齒輪式較儀、扭簧較儀測微儀。②量儀。測微准儀、測角較儀、檢查儀、式計、卧式計、超級計、式測儀、測儀、具顯微鏡、投影儀、觸式干涉儀、激光干涉儀、激光干涉比長儀和光學分度頭等。③電動量儀。如電動測微儀、靜態光電顯微鏡、動態光電顯微鏡、光電准直光管、電感式比較儀、電容式比較儀、輪廓儀和圓度儀等。④氣動量儀。如低壓水柱式氣動量儀、差壓水柱式氣動量儀、差壓水銀柱式氣動量儀、高壓薄膜式氣動量儀、波紋管式氣動量儀和流量式氣動量儀（浮標式氣動量儀）等。另外，量儀也可按用途等進行分類。量儀的精度評定方法主要有檢定法、比對法和誤差分離法等。

氣動量儀測量原理是比較測量法。其測量方法是將長度信號轉化為氣流信號，通過有刻度的玻璃管內的浮標示值，稱為浮標式氣動測量儀；或通過氣電轉換器將氣信號轉換為電信號由發光管組成的光柱示值，稱為電子柱式氣動測量儀。氣動量儀是一種可多台拼裝的量儀，它與不同的氣動測頭搭配，可以實現多種參數的測量。氣動量儀由於其本身具備很多優點，所以在機械製造行業得到了廣泛的應用。其優點如下：

1、測量項目多，如長度、形狀和位置誤差等，特別對某些用機械量具和量儀難以解決的測量，例如：測深孔內徑、小孔內徑、窄槽寬度等，用氣動測量比較容易實現。

2、量儀的放大倍數較高，人為誤差較小，不會影響測量精度；工作時無機械摩擦，所以沒有回程誤差。

3、操作方法簡單，讀數容易，能夠進行連續測量，很容易看出各尺寸是否合格。

4、實現測量頭與被測表面不直接接觸，減少測量力對測量結果的影響，同時避免划傷被測件表面，對薄壁零件和軟金屬零件的測量尤為適用。

5、由於非接觸測量，測量頭可以減少磨損，延長使用期限。氣動量儀主體和測量頭之間採用軟管連接，可實現遠距離測量。

6、結構簡單，工作可靠，調整、使用和維修都十分方便。

可測量項目：內徑、外徑、槽寬、兩孔距、深度、厚度、圓度、錐度、同軸度、直線度、平面度、平行度、垂直度、通氣度和密封性

由氣動長度感測器、指示器（表）、空氣過濾器和穩壓器等組成的長度測量工具。使用氣動量儀可以進行不接觸測量，測量效率很高。氣動量儀適用於在大批量生產中測量內、外尺寸，也可用於測量孔距和軸孔配合間隙。用氣動量儀測量時，需要按被測尺寸配以相應的測頭（圖1）

氣動內徑測頭結構簡單，很適宜用於孔徑測量。它可以測量直徑為1.5毫米的小孔。氣動量儀的示值範圍較小，一般為±20～±100微米。按示值範圍不同，常見的分度值有0.5微米、1微米和 2微米等幾種。允許誤差一般不大於一個分度值。氣動量儀主要分為壓力式和流量式兩類。

有差壓水柱式、波紋管式（見長度感測器）、薄膜式和膜盒式等。圖2[差壓水柱式氣動量儀的工作原理]為差壓水柱式氣動量儀的工作原理。測量前，分別用與被測孔徑公差的最大極限尺寸和最小極限尺寸相等或相近（已精確測得其實際尺寸）的兩個校對環規，按所採用的放大倍數，用倍率微調閥、零位調整閥調整水柱的上、下限位置。測量時，由於被測孔徑實際尺寸與校對環規尺寸之差引起的間隙S1和S2變化，使測量氣室中的壓力也發生變化。變化的大小由水柱高度表示，從刻度尺上讀出被測孔徑的偏差值。薄膜式和膜盒式等氣動量儀分別採用膜片和膜盒等彈性元件作為轉換元件。測量時由壓力變化引起彈性元件位移，經槓桿齒輪機構放大後由錶針指示。如果在彈性元件的端面上加上電觸點，便能發出電信號而進行自動測量。

採用浮子和錐度玻璃管作為轉換元件，故又稱浮標式氣動量儀。圖3[浮標式氣動量儀的工作原理]為浮標式氣動量儀的工作原理。它的調整和使用方法與差壓水柱式氣動量儀相似。由於間隙S1和S2變化引起的空氣流量變化，由浮子在錐度玻璃管中的上下位置表示。