微慣性感測器(micro inertia sensor)是由微加速度計(Microaccelerometer)和微陀螺儀(Microgyroscope)組成的器材。
微加速度計最典型的 原理是:以一個質量塊作為敏感部件,當載體有某一方向的加速度時,質量快向一個方向偏移,然後通過
電極測量這個位移量(或產生偏移的
慣性力)換算為加速度
按位移量(或產生偏移的慣性力)的測量方法分類有:壓阻式加速度計、電容式、隧道電流式、
諧振式、熱感測式。
MEMS 陀螺儀(gyroscope)的工作原理
傳統的陀螺儀主要是利用角動量守恆原理,因此它主要是一個不停轉動的物體,它的轉軸指向不隨承載它的支架的旋轉而變化。但是 MEMS 陀螺儀(gyroscope)的工作原理不是這樣的,因為要用微機械技術在
矽片襯底上加工出一個可轉動的結構可不是一件容易的事。MEMS 陀螺儀利用
科里奧利力——旋轉物體在有
徑向運動時所受到的切向力。下面是導出
科里奧利力的方法。有力學知識的讀者應該不難理解。在空間設立動態坐標系。用以下方程計算加速度可以得到三項,分別來自徑向加速、科里奧利加速度和
向心加速度。