微慣性感測器

微加速度計原理和結構

微加速度計最典型的 原理是：以一個質量塊作為敏感部件，當載體有某一方向的加速度時，質量快向一個方向偏移，然後通過電極測量這個位移量（或產生偏移的慣性力）換算為加速度

按位移量（或產生偏移的慣性力）的測量方法分類有：壓阻式加速度計、電容式、隧道電流式、諧振式、熱感測式。

MEMS 陀螺儀（gyroscope）的工作原理

傳統的陀螺儀主要是利用角動量守恆原理，因此它主要是一個不停轉動的物體，它的轉軸指向不隨承載它的支架的旋轉而變化。但是 MEMS 陀螺儀（gyroscope）的工作原理不是這樣的，因為要用微機械技術在矽片襯底上加工出一個可轉動的結構可不是一件容易的事。MEMS 陀螺儀利用科里奧利力——旋轉物體在有徑向運動時所受到的切向力。下面是導出科里奧利力的方法。有力學知識的讀者應該不難理解。在空間設立動態坐標系。用以下方程計算加速度可以得到三項，分別來自徑向加速、科里奧利加速度和向心加速度。