微電子材料
微電子材料
微電子材料,就是一種由GeSi合金和寬禁帶合成的半導體材料。
主要是大直徑(400mm)硅單晶及片材技術,大直徑(200mm)矽片外延技術,150mmGaAs和100mmInP晶片及其以它們為基的III-V族半導體超晶格、量子阱異質結構材料製備技術,GeSi合金和寬禁帶半導體材料等。
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微電子材料,就是一種由GeSi合金和寬禁帶合成的半導體材料。
主要是大直徑(400mm)硅單晶及片材技術,大直徑(200mm)矽片外延技術,150mmGaAs和100mmInP晶片及其以它們為基的III-V族半導體超晶格、量子阱異質結構材料製備技術,GeSi合金和寬禁帶半導體材料等。
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