榆次專區轄22縣。 1954年將榆次縣城關區改設榆次市，由省直轄。榆次專區轄21縣。
1949年8月1日山西省恢復建制，同時設陽泉專區。陽泉專區轄榆次、
平定、壽陽、祁縣、太谷、
介休、平遙、
昔陽、
和順、遼縣、
榆社、
盂縣、
靈石共13個縣及陽泉工礦區。同年8月20日，山西省委報華北局、華北人民政府同意，陽泉專區改名為榆次專區。
改名之後的榆次專區，專署駐榆次縣。轄榆次、平定、盂縣、壽陽、祁縣、太谷、介休、靈石、平遙、昔陽、和順、左權（原遼縣）、榆社等13縣及陽泉工礦區。1951年原陽泉工礦區改設
陽泉市，由省直轄。原汾陽專區所屬
孝義、
汾陽、文水、
交城、清源、
徐溝等6縣划入榆次專區。轄19縣。1952年將清源、徐溝2縣合併設
清徐縣（駐清源縣城）。原興縣專區所屬方山、
離石、臨縣、
中陽等4縣划入榆次專區。
方山縣遷駐圪洞。榆次專區轄22縣。1954年將榆次縣城關區改設榆次市，由省直轄。離石、方山2縣合併，改名為離山縣（駐原離石縣城）。榆次專區轄21縣。1958年榆次專區改為晉中專區。