ICP

ICP還可以作為原子化器，如以空心陰極燈為光源，ICP為原子化器的原子熒光光譜儀。這類儀器不採用單色器，以ICP為中心，在周圍安裝多個檢測單元(每一元素配一個檢測單元),形成了多元素分析系統.ICP作為原子化器最大的優點在於原子化器具有很高的溫度，多種元素都可得到很好地原子化，散射問題也得到克服。由計算機控制，燈電源順序地向各檢測單元的空心陰極燈供電(2,000次/秒),所產生的熒光由相應的光電倍增管檢測，光電轉換后的電信號在放大後由計算機處理，並報出各元素的分析結果。不過，值得提出的是，以ICP為原子化器的原子熒光光譜儀對難熔元素的測定靈敏度不高。