流片

流水線一樣工藝步驟製造晶元

像流水線一樣通過一系列工藝步驟製造晶元,這就是流片。

流片歷史


流片:英文 Tape Out。
集成電路設計領域,“流片”指的是“試生產”,就是說設計完電路以後,先生產幾片幾十片,供測試用。如果測試通過,就照著這個樣子開始大規模生產了。
在觀看了電影《摩登時代》后,我們可能經常想起卓別林鈕螺絲的那個鏡頭。大家知道影片中那種流水線一樣的生產就是生產線。只是隨著科學技術的發展,在現在的生產線上卓別林所演的角色已經被機器取代了。我們像流水線一樣通過一系列工藝步驟製造晶元,這就是流片。
在晶元製造過程中一般有兩段時間可以叫做流片。在大規模生產晶元時,那流水線一樣地生產就是其中之一。大家可能很早就已經知道了這個過程叫流片,但下面這種情況就不能盡說其詳了。我們在搞設計的時候發現某個地方可以進行修改以取得更好的效果,但又怕這樣的修改會給晶元帶來意想不到的後果,如果根據這樣一個有問題的設計大規模地製造晶元,那麼損失就會很大。所以為了測試集成電路設計是否成功,必須進行流片,即從一個電路圖到一塊晶元,檢驗每一個工藝步驟是否可行,檢驗電路是否具備我們所要的性能和功能。如果流片成功,就可以大規模地製造晶元;反之,我們就需要找出其中的原因,並進行相應的優化設計。

工藝發展


2010年1月21日上海集成電路技術與產業促進中心就推出多項目晶圓(Multi-Project Wafer,簡稱MPW)服務,可以使流片費下降90%-95%。
MPW服務是將多個具有相同工藝的集成電路設計放在同一晶圓片上流片加工服務,每個設計品種可以得到數十片晶元樣品,用於產品研發階段的實驗和驗證測試。MPW流片費用由所有參加MPW的項目按照晶元所佔面積分攤,實際成本僅為原來的5%-10%,不但大幅降低了集成電路研發階段的成本,也為集成電路設計工程師的大膽實踐提供了相對寬鬆的條件,有效地推動了集成電路設計的創新發展。
微處理器設計公司ARM與台積電2013年4月2日共同宣布,首個採用台積電下下代16nm工藝製程FinFET技術生產的ARM Cortex-A57處理器已成功流片。標誌16納米成為流片的最高工藝標準。