ITO導電玻璃
ITO導電玻璃
ITO導電玻璃是在鈉鈣基或硅硼基基片玻璃的基礎上，利用磁控濺射的方法鍍上一層氧化銦錫（俗稱ITO）膜加工製作成的。液晶顯示器專用ITO導電玻璃，還會在鍍ITO層之前，鍍上一層二氧化硅阻擋層，以阻止基片玻璃上的鈉離子向盒內液晶里擴散。高檔液晶顯示器專用ITO玻璃在濺鍍ITO層之前基片玻璃還要進行拋光處理，以得到更均勻的顯示控制。液晶顯示器專用ITO玻璃基板一般屬超浮法玻璃，所有的鍍膜面為玻璃的浮法錫面。因此，最終的液晶顯示器都會沿浮法方向，規律的出現波紋不平整情況。
在濺鍍ITO層時，不同的靶材與玻璃間，在不同的溫度和運動方式下，所得到的ITO層會有不同的特性。一些廠家的玻璃ITO層常常表面光潔度要低一些，更容易出現“麻點”現象；有些廠家的玻璃ITO層會出現高蝕間隔帶，ITO層在蝕刻時，更容易出現直線放射型的缺划或電阻偏高帶；另一些廠家的玻璃ITO層則會出現微晶溝縫。
ITO導電玻璃
ITO層在活性正價離子溶液中易產生離子置換反應，形成其它導電和透過率不佳的反應物質，所以在加工過程中，盡量避免長時間放在活性正價離子溶液中。ITO層由很多細小的晶粒組成，晶粒在加溫過程中會裂變變小，從而增加更多晶界，電子突破晶界時會損耗一定的能量，所以ITO導電玻璃的ITO層在600度以下會隨著溫度的升高，電阻也增大。
ITO導電玻璃按電阻分，分為高電阻玻璃（電阻在150~500歐姆）、普通玻璃（電阻在60~150歐姆）、低電阻玻璃（電阻小於60歐姆）。高電阻玻璃一般用於靜電防護、觸控屏幕製作用；普通玻璃一般用於TN類液晶顯示器和電子抗干擾；低電阻玻璃一般用於STN液晶顯示器和透明線路板。
ITO導電玻璃按尺寸分，有14”x14”、14”x16”、20”x24”等規格；按厚度分，有2.0mm、1.1mm、0.7mm、0.55mm、0.4mm、0.3mm等規格，厚度在0.5mm以下的主要用於STN液晶顯示器產品。
ITO導電玻璃按平整度分，分為拋光玻璃和普通玻璃。
長度、寬度、厚度及允差（±0.20）
垂直度（≤0.10%）
翹曲度（厚度0.7mm以上≤0.10%，厚度0.55mm以下≤0.15%）
微觀波紋度
倒邊C倒邊（0.05mm≤寬度≤0.40mm）R倒邊（0.20mm≤寬度≤1.00mm，曲率半徑≤50mm）倒角（浮法方向2.0mmX5.0mm；其餘1.5mmx1.5mm）SiO2阻擋層厚度（350埃±50埃，550nm透過率≥90%）ITO層光學、電學、蝕刻性能（蝕刻液：600C 37%HCL:H2O:67%HNO3=50:50:3）
耐鹼為浸入60℃、濃度為10%氫氧化鈉溶液中5分鐘后，ITO層方塊電阻變化值不超過10%。耐酸為浸入250C、濃度為6%鹽酸溶液中5分鐘后，ITO層方塊電阻變化值不超過10%。耐溶劑為在250C、丙酮、無水乙醇或100份去離子水加3分EC101配製成的清洗液中5分鐘后，ITO層方塊電阻變化值不超過10%。附著力：在膠帶貼附在膜層表面並迅速撕下，膜層無損傷；或連撕三次后，ITO層方塊電阻變化值不超過10%。熱穩定性：在300°C的空氣中，加熱30分鐘后，ITO導電膜方塊電阻值應不大於原方塊電阻的300%。
裂紋：不允許。粘附物：包括塵粒、玻璃碎等凸起物，TN型ITO導電玻璃鍍膜面不允許有不可去除的高度超過0.1mm的粘附物；STN型ITO導電玻璃鍍膜面不允許有不可去除的高度超過0.05mm的粘附物。沾污：不可有不溶於水或一般清洗劑無法除去的沾污。崩邊：長X寬≤2.0mmx1.0mm；深度不超過玻璃基片厚度的50%；總長度≤總邊長的5%。划痕。
玻璃體點狀缺陷：包括氣泡、夾雜物、表面凹坑、異色點等。點狀缺陷的直徑定義為：d=(缺陷長+缺陷寬)/2。
玻璃體線狀缺陷(寬度W)：包括玻筋、光學變形。
膜層點狀缺陷：SIO2阻擋層和ITO導電層的點狀缺陷包括針孔、空洞、顆粒等，點狀缺陷的直徑定義為：d=(缺陷長+缺陷寬)/2。
尺寸：
B、判定標準：測量結果在供貨商所提供的參數範圍之內為合格。
面電阻:
A、測試方法：把待測試玻璃整個區域做為測試區域，然後測試區域分成九等份后再用四探針測試儀分別測試各區域的面電阻。
B、判定標準：根據測試結果計算出電阻平均值及電阻資料分散值，結果在要求範圍內既是合格。
ITO層溫度性能
A、測試方法：把待測玻璃原片在3000C的空氣中，加熱30分鐘，測試其加溫前後的同一點面電阻阻值。B、判定標準：ITO導電膜方塊電阻值應不大於原方塊電阻的300%為合格。
蝕刻性能：
A、測試方法：把待測玻璃原片放入生產線所用的蝕刻液中測試其蝕刻完全的時間。
B、判定標準：蝕刻完全的時間值小於生產工藝所設定時間的一半值為合格。
A、測試方法：把待測玻璃原片放在600C、濃度為10%氫氧化鈉溶液中5分鐘后，測試其浸泡前後的同一點面電阻阻值。
B、判定標準：ITO層方塊電阻變化值不超過10%為合格。
光電性能與可靠性：
A、測試方法：把待測玻璃與現生產用玻璃按現生產工藝參數，選擇一型號製作成成品並測試其光電與可靠性性能；
B、判定標準：光電性能與可靠性測試結果與現生產用玻璃結果相當，並在測試產品型號要求範圍之內。
C、一般來講，ITO玻璃耐鹼性能良好。
模數在240以上的產品，一般可選用供貨商B級品玻璃；
模數在40模以上，240模以下的產品，一般選用普通A級品玻璃；
模數在40模以下的產品，STN產品，一般選用低電阻拋光玻璃。
COG產品，一般選用15歐姆拋光玻璃。
取放時只能接觸四邊，不能接觸導電玻璃ITO表面；
輕拿輕放，不能與其它治具和機器碰撞；
如果要長時間存放，一定要注意防潮，以免影響玻璃的電阻和透過率；
對於大面積和長條形玻璃，在設計排版時要考慮玻璃基片的浮法方向。
ITO導電玻璃應貯存在室溫條件下，濕度在65%以下乾燥保存；
貯放時玻璃保持豎向放置，玻璃間堆放不可超過二層，木箱裝ITO導電玻璃貨物堆放不可超過五層。紙箱裝貨ITO導電玻璃貨物，原則上不能堆放。
任何時候都不容許疊放；
除規定外，一般要求豎向放置；平放操作時，盡量保持ITO面朝下；厚度在0.55mm以下的玻璃只能豎向放置；
易碎品，小心輕放，保持搬運過程中的穩定性，搬運時層高不得超過三層。
（1）電化學擴散工藝：在玻璃上用電化學擴散方法可獲得摻雜超導薄膜。玻璃在電化學處理裝置中與熔融金屬或化合物接觸，在一定的電場作用下，熔融金屬或化合物中的離子會擴散到玻璃表面，玻璃中的一價鹼金屬離子離解處來，等量地擴散至陰極表面，使玻璃表面的化學組成發生變化。性能隨之改變。
（2）高溫噴塗和等離子體噴塗工藝：這種技術是將粉末狀金屬或非金屬、無機材料加熱至熔化或未熔化狀態，並進一步加溫使其霧化，形成高溫高速焰流噴向需噴塗的玻璃基體。採用這種方式可以先在基體上製備YBaGUOx等塗層，在經過熱處理可成為超導性材料。
ITO導電膜玻璃是在鈉鈣基或硅硼基基片玻璃的基礎上，利用磁控濺射的方法沉積二氧化硅(SiO2)和氧化銦錫(通稱ITO)薄膜加工製作成的。ITO是一種具有良好透明導電性能的金屬化合物，具有禁帶寬、可見光譜區光透射率高和電阻率低等特性，廣泛地應用於平板顯示器件、太陽能電池、特殊功能窗口塗層及其他光電器件領域，是目前LCD、PDP、OLED、觸摸屏等各類平板顯示器件唯一的透明導電電極材料。作為平板顯示器件的關鍵基礎材料，其隨著平板顯示器件的不斷更新和升級而具有更加廣闊的市場空間。
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